特 長

• ｽｷｬﾆﾝｸﾞﾋﾞｰﾑによる低倍率から超高倍率像の迅速観察
• 微小部 (数10nm〜) の元素分析

用 途

• 超高倍率像観察 (100倍〜1000万倍機能)
• 2次･散乱･透過電子像の観察
• 元素分析 (点、ライン、マッピング）
• 格子像観察

分析事例