特 長

• 高感度分析 数十μm領域からppmオーダーの検出
• 深さ方向分析が可能 μmオーダーからnmの範囲の分析
• 全ての元素分析が可能　周期律表全ての元素分析
• 標準試料を用いて、定量分析可能

用 途

• ドーパントの深さ方向濃度プロファイル
• 不純物評価・薄膜の分析 (表面近傍、膜中及び界面に
  存在する不純物の深さ方向濃度分布測定)

分析事例