特 長

• 揮発性有機化合物の定性･定量分析
• クリーンルーム雰囲気の評価中の 揮発性有機化合物の分析
• 基板表面吸着物の評価
• 発生ガス濃縮導入装置により、基板表に吸着している物質のみを捕集可能 (裏面排気機構付)

分析事例