SEM-EDX

(Scanning Electron Microscope - Energy Dispersive X-ray Analysis)

特 長

SEM-EDX
装置名 S-3500N S-4300SE S-5000
電子工学系区分 熱電子放出形SEM ショットキーエミッション(SE)
SEM
電界放出形SEM
二次電子像分解能 3.0nm(25kV) 1.5nm(30kV) 0.6nm(15kV)
通常の観察倍率 50〜20,000倍 50〜50,000倍50〜100,000倍
試料サイズ
(平面寸法)
80×80nm 50×50nm 3×5nm
可動範囲 0〜30mm 0〜25mm 0〜5mm
その他 反射電子像観察
低真空モード
(無蒸着で観察可能)
SE電子源/ドリフト補正EDXにより
長時間S/Nのよい測定が可能
高分解能

用 途

  • 表面・断面形状観察
  • 微小部の元素分析
  • ライン・マッピング元素分析

分析事例