AFM

(Atomic Force Microscope)

特 長

  • 最大走査範囲(X-Y方向):90μm
  • 試料サイズ:Φ120mm
  • 分解能:0.05nm(垂直) 、(面内):0.5nm)

用 途

  • 表面形状の高分解能観察
  • ウエハー、薄膜等の表面凹凸測定

分析事例