顕微レーザーラマン

(Laser Raman Spectroscopy)

特 長

  • FT-IRの補完分析 20μm以下の微小部位、異物の分析
  • 非破壊による深さ方向の分析、フォーカル顕微鏡による分解能2μm分析が可能
  • 層間膜、埋没異物分析が可能、コンフォーカル顕微鏡に よる相関膜や埋没異物分析
  • マッピングを使った有機物分布分析、薄膜や微小部位のスペクトルのマッピンッグによる面分析
  • 微弱な散乱光なので蛍光を発する物質は測定が困難

用 途

  • 微小異物分析 (有機物、無機物同定)
  • Si結晶性評価
  • カーボン膜評価 (ダイヤモンド、グラファイト) 等

分析事例